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河北東同光電科技有限公司組建成立

年產50噸AZO靶材項目竣工

氧化鈮靶材研發成功并投產

氧化鈦靶材研發成功并投產

氧化鈮旋轉靶材研發成功并投產

TZO及硫化鉬靶材投產

旋轉靶材綁定技術、工藝定型

硅鋁、硅鎳等合金靶材相繼投產

各類靶材相繼研發成功,并投入生產

銅鎵合金管靶研發成功

PZT靶材及導電精密陶瓷研發成功
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